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本课程起止时间为:2020-02-22到2020-06-15
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【作业】第一讲 绪论 第一讲 作业

1、 问题:什么是薄膜?
评分规则: 【 薄膜的正确定义。

2、 问题:薄膜制备方法分类。
评分规则: 【 按类别列举薄膜的制备方法。

3、 问题:薄膜应用领域举例。
评分规则: 【 在不同应用领域列举3-5项薄膜的主要应用。

【作业】第二讲 真空 第二讲 作业

1、 问题:真空的定义
评分规则: 【 阐述真空的基本概念

2、 问题:名词解释:饱和蒸汽压
评分规则: 【 阐述饱和蒸气压的概念

3、 问题:名词解释:分子平均自由程
评分规则: 【 阐述分子平均自由程的基本概念

4、 问题:气体分子的流动状态可以分为哪几种?描述其主要特征
评分规则: 【 说明分子有几种流动状态,并说明其特征

5、 问题:真空系统由哪些构件组成?
评分规则: 【 画图说明真空系统由哪些构件组成?

6、 问题:举例说明真空泵有哪些类型?
评分规则: 【 举例说明抽气泵的分类。

【作业】第三讲 蒸发 第三讲 作业

1、 问题:饱和蒸汽压与温度的关系?
评分规则: 【 说明饱和蒸汽压与温度的关系

2、 问题:物质的蒸发速率与哪些因素有关?
评分规则: 【 试说明蒸发速率与哪些因素有关

3、 问题:点蒸发源和小平面蒸发源的膜厚分布特性
评分规则: 【 画图说明

4、 问题:比较说明常见蒸发镀膜方法的原理、特点及适用的材料。
评分规则: 【 具体阐述

【作业】第四讲 溅射 第四讲 作业

1、 问题:阐述溅射的主要过程
评分规则: 【 概念及过程阐述

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