2020 薄膜技术(苏治斌)(燕山大学) 最新满分章节测试答案
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本课程起止时间为:2020-02-24到2020-04-17
本篇答案更新状态:已完结
【作业】第一讲 绪论 第一讲 作业
1、 问题:什么是薄膜?
评分规则: 【 薄膜的正确定义。
】
2、 问题:薄膜制备方法分类。
评分规则: 【 按类别列举薄膜的制备方法。
】
3、 问题:薄膜应用领域举例。
评分规则: 【 在不同应用领域列举3-5项薄膜的主要应用。
】
【作业】第三讲 蒸发 第三讲 作业
1、 问题:饱和蒸汽压与温度的关系?
评分规则: 【 说明饱和蒸汽压与温度的关系
】
2、 问题:物质的蒸发速率与哪些因素有关?
评分规则: 【 试说明蒸发速率与哪些因素有关
】
3、 问题:点蒸发源和小平面蒸发源的膜厚分布特性
评分规则: 【 画图说明
】
4、 问题:比较说明常见蒸发镀膜方法的原理、特点及适用的材料。
评分规则: 【 具体阐述
】
【作业】第四讲 溅射 第四讲 作业
1、 问题:阐述溅射的主要过程
评分规则: 【 概念及过程阐述
】
2、 问题:什么是溅射产额?溅射产额与哪些因素有关?
评分规则: 【 定义及影响因素各5分
】
3、 问题:溅射沉积的优点有哪些?
评分规则: 【 每点1分
】
4、 问题:溅射适合用于合金薄膜沉积吗?
评分规则: 【 阐述合金溅射原理。并总结优缺点。
】
5、 问题:射频溅射时,为什么不会对基片进行溅射?
评分规则: 【 从基本原理出发阐述
】
【作业】第二讲 真空 第二讲 作业
1、 问题:真空的定义
评分规则: 【 阐述真空的基本概念
】
2、 问题:名词解释:饱和蒸汽压
评分规则: 【 阐述饱和蒸气压的概念
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